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等離子體化學(xué)與工藝

等離子體化學(xué)與工藝

定　價(jià)：￥6.70

作　者： 趙化僑編著
出版社： 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽： 等離子體
ISBN： 9787312003929 出版時(shí)間： 1993-02-01 包裝：
開本： 20cm 頁數(shù)： 315頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　闡述了等離子體化學(xué)的基本理論和和應(yīng)用技術(shù)，包括：等離子體的發(fā)生、輝光放電過程的應(yīng)用與解析、濺射制膜等8章。

作者簡介

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