大規(guī)模集成電路工廠潔凈技術(shù)

　　本書闡述了當(dāng)前大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝對潔凈技術(shù)的要求和今后發(fā)展方向、超級潔凈室的設(shè)計、施工技術(shù)問題和應(yīng)采取的措施、輔助設(shè)施超純水、藥品、廢水處理和高純氣體等最新應(yīng)用技術(shù)以及潔凈室運行管理問題。

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