金剛石薄膜沉積制備工藝與應用

定　價：￥20.00

作　者：	戴達煌[等]編著
出版社：	冶金工業(yè)出版社
叢編項：	21世紀新材料科學與技術叢書
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787502427757	出版時間：	2001-06-01	包裝：	簡裝本
開本：	21cm	頁數(shù)：	224	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　這是一本較全面地敘述金剛石薄膜沉積制備工藝與應用的書。本書從金剛石薄膜的優(yōu)異性能和應用前景出發(fā)，闡述了各種沉積薄膜的制備方法；論述了金剛石薄膜的非平衡熱力學和金剛石膜聲場的動力學因素；較詳盡地探討了能大面積沉積金剛石膜的熱絲裝置和當今沉積速率最高的等離子射流裝置的一些關鍵技術和成膜關鍵技術和成膜工藝；同時介紹了性能接近金剛石膜、易實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化、應用前景看好的雷金剛石膜的制備工藝、性能和應用。最后展望了金剛石膜未來的發(fā)展前景，指出金剛石膜必將成為21世紀有影響的功能薄膜材料。

作者簡介

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圖書目錄

第1章概論
1 金剛石薄膜的優(yōu)異性能及其應用前景
……

第2章金剛石薄膜沉積的非平衡勢力學與形成機理
1 概述
……

第3章金剛石薄膜沉積生長的動力學因素與動力學方程
1 金剛石薄膜沉積生長的一些動力學因素
……

第4章高速大面積沉積金剛石薄膜的裝置
1 大面積沉積金剛石薄膜的熱絲CVD裝置
……

第5章金剛石膜沉積工藝
1 金剛石膜的主要沉積方法和成膜生長概述
……

第6章類金剛石薄膜（DLC膜）
1 DLC膜的概述與表征
……

第7章結(jié)語與展望
1 金剛石膜進展概況
……