微納米加工技術及其應用（第四版）

定　價：￥129.00

作　者：	崔錚
出版社：	高等教育出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787040543025	出版時間：	2020-10-01	包裝：	平裝-膠訂
開本：	16開	頁數(shù)：		字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　本書集作者多年來的實踐經(jīng)驗與研究成果，綜合介紹微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、掃描探針加工技術、微納米尺度的復制技術、各種沉積法與刻蝕法圖形轉移技術、間接納米加工技術與自組裝納米加工技術等。第四版在內(nèi)容上反映了集成電路芯片加工技術的進步，不論是對初次涉足這一領域的大專院校的本科生或研究生，還是對已經(jīng)有一定工作經(jīng)驗的專業(yè)科技人員，都具有很好的參考價值。