氣體與濕度傳感器MEMS技術(shù)及應(yīng)用

第 1 章 氣體和濕度傳感器的基本概念
1.1 氣體和濕度傳感器的發(fā)展歷程
1.1.1 氣體傳感器技術(shù)的發(fā)展狀況
1.1.2 濕度傳感器技術(shù)的發(fā)展狀況
1.2 氣體傳感器原理及分類
1.2.1 氣體傳感器的基本概念
1.2.2 氣體傳感器的工作原理與結(jié)構(gòu)
1.2.3 氣體傳感器的主要性能參數(shù)
1.3 濕度傳感器的原理與分類
1.3.1 濕度傳感器的基本概念
1.3.2 濕度傳感器的工作原理與結(jié)構(gòu)
1.3.3 濕度傳感器的主要性能參數(shù)
1.4 氣體與濕度傳感器機理的研究方法
1.4.1 性能測試分析
1.4.2 理論計算與仿真
1.4.3 原位表征技術(shù)
1.5 氣體與濕度傳感器的發(fā)展展望
參考文獻
第 2 章 氣體和濕度敏感材料
2.1 納米材料的合成方法
2.1.1 氣相法合成納米材料
2.1.2 液相法合成納米材料
2.1.3 固相法合成納米材料
2.1.4 其他合成方法
2.2 納米材料的表征技術(shù)
2.2.1 納米材料的形貌表征
2.2.2 納米材料的結(jié)構(gòu)與組分表征
2.2.3 納米材料的性能表征
2.3 納米復(fù)合材料的合成與表征技術(shù)
2.3.1 無機納米復(fù)合材料
2.3.2 聚合物納米復(fù)合材料
2.3.3 有機 / 無機納米復(fù)合材料
2.3.4 貴金屬修飾納米復(fù)合材料
2.4 納米材料的傳感效應(yīng)
2.4.1 納米顆粒的敏感效應(yīng)
2.4.2 納米線的敏感效應(yīng)
2.4.3 二維納米材料的敏感效應(yīng)
2.4.4 納米復(fù)合材料的敏感效應(yīng)
2.5 小結(jié)
參考文獻
第 3 章 MEMS 氣體和濕度傳感器的制造工藝
3.1 表面 MEMS 工藝
3.1.1 薄膜沉積與生長工藝
3.1.2 圖形化工藝
3.1.3 刻蝕工藝
3.2 體硅 MEMS 工藝
3.2.1 體硅濕法腐蝕
3.2.2 深硅離子刻蝕
3.2.3 其他體的加工工藝
3.3 基于 MEMS 的氣體傳感器的制造工藝
3.3.1 硅基 MEMS 化學氣體傳感器的結(jié)構(gòu)
3.3.2 材料選擇及設(shè)計
3.3.3 案例分析
3.4 小結(jié)
參考文獻
第 4 章 半導體氣體傳感器
4.1 半導體氣體傳感器的分類
4.1.1 電阻式氣體傳感器
4.1.2 非電阻式氣體傳感器
4.2 半導體氣體傳感器的原理
4.2.1 表面控制型
4.2.2 體控制型
4.2.3 半導體氣敏材料的增敏機理
4.3 半導體氣體傳感器的制作與測量
4.3.1 經(jīng)典結(jié)構(gòu)半導體氣體傳感器
4.3.2 MEMS 半導體氣體傳感器
4.4 半導體氣體傳感器的應(yīng)用
參考文獻
第 5 章 電化學氣體傳感器
5.1 電化學氣體傳感器的理論基礎(chǔ)
5.1.1 電極電勢
5.1.2 雙電層
5.1.3 電化學熱力學
5.1.4 電極過程動力學
5.2 電化學氣體傳感器的工作原理及分類
5.2.1 氣體傳感器的電化學反應(yīng)過程
5.2.2 電化學氣體傳感器的反應(yīng)特點
5.2.3 燃料電池型氣體傳感器
5.2.4 伽伐尼型氣體傳感器
5.2.5 定電位電解型氣體傳感器
5.3 電化學氣體傳感器的結(jié)構(gòu)與特點
5.3.1 殼體
5.3.2 擴散層
5.3.3 電極
5.3.4 電解質(zhì)
5.4 電化學傳感器的制作工藝與性能
5.4.1 電化學氣體傳感器的制作工藝
5.4.2 傳感器的性能
5.5 電化學氣體傳感器的應(yīng)用
5.5.1 工業(yè)領(lǐng)域
5.5.2 民生安全健康領(lǐng)域
5.5.3 醫(yī)療領(lǐng)域
5.5.4 飲酒檢測領(lǐng)域
第 6 章 固體電化學氣濕敏傳感器
6.1 固態(tài)電化學氣濕敏傳感器的分類與工作原理
6.1.1 根據(jù)工作模式分類
6.1.2 根據(jù)電解質(zhì)分類
6.1.3 固態(tài)電化學氣濕敏傳感器的工作特性
6.2 固態(tài)電化學氣濕敏傳感器的常規(guī)制備工藝和表征技術(shù)
6.2.1 常規(guī)制備工藝
6.2.2 表征技術(shù)：極化曲線和阻抗譜
6.3 固態(tài)電化學氣濕敏傳感器的應(yīng)用
6.3.1 汽車尾氣檢測
6.3.2 濕度檢測
6.3.3 氫氣檢測
6.3.4 VOC 檢測
6.4 固態(tài)電化學傳感器的新興技術(shù)
6.4.1 新型參比電極：錳系和全封閉式
6.4.2 新型傳感器結(jié)構(gòu)：變頻式
6.4.3 光耦合電化學傳感技術(shù)
參考文獻
第 7 章 光學氣體傳感器
7.1 光學氣體傳感器概述
7.2 光學吸收型氣體傳感器
7.2.1 NDIR 氣體傳感器
7.2.2 TDLAS 氣體傳感器
7.2.3 光纖氣體傳感器
7.2.4 光聲光譜式氣體傳感器
7.3 光學氣體傳感器的應(yīng)用
參考文獻
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